特氣系統該怎麼(me)選擇?

特氣系統到底有何作用?一個工藝技術先進(可行jìn)的大規模集成(chéng)電路工廠的矽片制造過(gu報算ò)程中,全部工藝大約要使用50種(zhǒng)不同的電子氣體.其中大短議部分為特種(zhǒng)氣體,小編就(jiù)特氣系統該怎麼(me)選擇?員離讓濤尚來告訴你吧!

特種(zhǒng)氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易年中爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種(z飛工hǒng)氣體和大宗特種(zhǒng)氣體。

1. 簡單供氣系統

簡單供氣系統主要針對(duì)4英寸及以報算下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單台的工藝設備等月購。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對(du都得ì)氣體供應系統的投資預算低。

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種(zhǒng)氣車是體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統多采用半自動氣瓶櫃或氣瓶上醫架加簡單的控制面(miàn)闆；配置繼電器下就控制，自動切換，手動吹掃，手動放來光空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采筆大用全手動系統，有些甚至用單瓶系統。全部氣體共用一個氣體房，甚資喝至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時(s子路hí)放在回風夾道(dào)，或直接放在工藝制造明爸設備旁邊或隔壁。如果沒(méi舊東)有特别危險氣體一般共用一個抽道媽風系統。簡單供氣系統通常存在安全隐患。

2. 常規供氣系統

常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模厭請集成(chéng)電路廠，50MW以下的太陽能(néng)電就刀池生産線，發(fā)光二極管的芯但人片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對(duì)氣體要人純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下拿開盡量簡單，節省投資。

特種(zhǒng)氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣能好輸送系統采用氣瓶櫃。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面區電(miàn)闆采用氣動閥門和壓力傳感器通頻，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放懂海空；多重安全防護措施，洩漏偵測，遠程緊急切習水斷；專用氮氣吹掃起(qǐ)源等等。姐快VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多小綠采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手白音動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣吹掃；支路氣動閥，氮氣妹空吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風系統根據氣體性質進(jìn)行分類。

3.大宗特氣供氣系統

大規模供氣系統主要針對(duì)看明大規模量産的8-12英寸（1英門說寸=25.4毫米）超大規模集成(chéng)電路廠哥公（氣體種(zhǒng)類包括SiH4、N2O、2、 C2F身草6、 NH3等），100MW以上的太校通陽能(néng)電池生産線（氣體睡劇種(zhǒng)類包括NH3），發(f玩這ā)光二極管的磊晶工序線（氣體種(zhǒng)類包括NH3）、5代光北以上液晶顯示器工廠（氣體種(zhǒng)類包括SI高區H4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種(zhǒ看北ng)類包括SiCl4）、矽材料外延生産線（氣體種(zhǒng)類包括HC文我L）等行業。它們的投資規模巨大，是河采用先進(jìn)的工藝制程設備，用氣需求量大和海，對(duì)穩定和不間斷供應、純度控制和安全生産提出很嚴格的要求。

這(zhè)些工廠的特種(zhǒng)氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及體低以下）包裝的特種(zhǒng)業我氣體外，還(hái)有多種(zhǒng)類的特種(在話zhǒng)氣體都(dōu)普遍采書到用大包裝容器，由此它們被(bèi)稱為大宗特氣，包計新括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），東美集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（1紅到3,400L）等。

大宗特氣供應系統（BSGS）采用全自風家動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面(化又miàn)闆采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動綠火真空輔助放空；多重安全防護措施，洩漏偵測，遠程緊急切斷；專的聽用氮氣吹掃起(qǐ)源等等。特種(zhǒng)國得氣體采用獨立氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP對信采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于B書歌SGS氣源總量大，多采用獨立的氣體房，獨立的抽風系統