淺談一下特氣在運行管理中的分類

随著(zhe)國(guó)内半導體及光伏行業的快速發(fā都麗)展，對(duì)于高純氣體尤其是高純特種(zhǒn刀朋g)氣體的需求量及氣體質量要求越來越高。而特種(zhǒng)氣體大都(dōu開商)具有有毒、易燃易爆、高腐蝕性、高氧化性等性質，如H月紙2Se、SIH4、CL2、NF3等。因此如何安全、穩定、亮答可靠地貯存和輸送特種(zhǒng)氣體越來越受到企業重視。 

一、特氣在運行管理中的幾種(zhǒng)分類方法&月金nbsp;

特種(zhǒng)氣體在儲存、操作、處置氣體之前必須了解該特氣的MSDS，遠低即材料安全數據表。依據MSDS特氣可以有多種(zhǒn愛會g)分類方式。為了便于運行管理特氣，介紹以下幾種(zhǒng)分類方開高法。   

1.按特氣在壓力容器中的狀态分類 

特氣在運輸、儲存、輸送過(guò)愛裡程中都(dōu)充裝在壓力容器中。讀厭氣體在壓力容器中將(jiāng)填充到全部角落，且對(d費窗uì)容器的器壁壓力是均衡的。 在一般填充壓力西鐵和溫度下始終保持氣體形式存在的稱之為**性氣體雨這，而發(fā)生液化現象的氣體，稱之為液化氣。液化氣又分為兩(li爸務ǎng)種(zhǒng)類型，高壓液化氣如：H火知CL、N2O；低壓液化氣如：NH3、CL2、PH說內3。由于在使用**性氣體時(shí)壓力容器内的壓力將北雜(jiāng)逐漸降低，而在使用液化氣時(shí)，小見壓力容器内隻要有液體存在則壓力不會(huì)兒如發(fā)生變化，因此在氣體運行筆紙管理中，監控**性氣體殘餘量的方法為壓力監控，而監控液化氣的殘餘量需加裝電子拍章稱，采用重量監控的方法。      到土   

2.按特氣比重分類 

比重也稱相對(duì)密度，氣體的比重是指該氣體的密度與标準狀服綠況下空氣密度的比值。在特氣運行管理中，氣體比重可車城以用該氣體分子量直觀體現。空氣的分子量為28.8，以空氣分子量為分界商年點，工業中常見的比空氣輕的氣體有：H2、He術海、NH3、CH4等等；比空氣重的氣體有：AsH3、PH3、SI雨開H4、CF4等等。這(zhè)兩(liǎng)類氣體的運行管理方式是不同章員的，比如氣櫃内比空氣輕的氣體的抽風位置和氣體采樣(yàng)文這點在鋼瓶上方，而比空氣重的氣體的抽風位置和氣體采樣得問(yàng)點在鋼瓶下方。需注意的是作高運行管理中的氣體一般都(dōu)在非标準狀況下，因此與空學來氣分子量接近的氣體随著(zhe)溫度的不同會(huì)有例外，如常溫購舊或高溫N2會(huì)比空氣輕。而冷的N2會(huì)比空氣重。&nb高機sp;       會木 

計算混合氣的分子量，首先确定混合氣的氣體組成(chéng)及各組成(ch大時éng)氣體的分子量。比如計算1%河下PH3/He的分子量，PH3分子量為34，He分店兒子量為4，計算公式如下：34×0.01件風+4×0.99=4.3     你票    

3.按特氣的化學(xué)性質分類 

依據其化學(xué)性質，特氣可分為惰性氣體文吃、可燃性氣體、自燃性氣體、氧化性氣體我下及腐蝕性氣體幾種(zhǒng)。 工業上常用的惰性氣體有CF4、C4F8明麗、SF6、Ar、CO2、He、Xe店她、Ne等；可燃性氣體有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB；自燃性氣頻生體有SiH4、PH3等；氧化性氣體有NO、NF3等；腐蝕性是身氣體有HCl、HBr、BCl3、BF制個3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意答靜的是，很多特氣都(dōu)同時(shí)兼具以上兩(liǎng)種(zhǒn化筆g)性質，如SiH2Cl2、SiHCl3同時(shí)具有可燃性和腐蝕性。再暗有如Cl2、F2同時(shí)具有腐蝕性什們和氧化性。 

一般半導體、光伏等行業在其主體廠房票理一層都(dōu)建有專門的特氣房，并就計根據所用氣體的種(zhǒng)類和性質劃分不同的氣體間藍行。如果廠房所用特氣為高毒、易燃易爆明輛且存儲量達到一定值時(shí)，則需在離廠房安全距離以外的區域建立氣站為産國跳線供氣。